超透镜是由一系列亚波长尺寸的人工纳米结构单元在基底上排布构成，通过结构对入射光波前的相位、振幅、偏振进行精准调控，实现光束聚焦、准直、成像等传统透镜功能。
材料：石英、硅、氮化硅、二氧化钛等
加工能力：可以加工12寸及以下的超透镜的加工，最小线宽70nm，深宽比可根据不同的材料具体调试
| 紫外波段（UV） | TiO₂ AlN | 最小线宽：80nm 刻蚀深度：800nm 深宽比：10:1 |
可见光波段（VIS） | α-Si Si₃N₄ | 最小线宽：70nm 刻蚀深度：1μm 深宽比：15:1 |
近红外波段（NIR） | 单晶硅 (c-Si) | 最小线宽：70nm 刻蚀深度：1μm 深宽比：15:1 |
中红外波段（MIR） | 金属 (Au/AI/Ti) | 最小线宽：70nm 刻蚀深度：100nm 深宽比：3:1 |
