光加速度计代工

Optical Accelerometer

产品参数

硅基光子学加速度计（SOI 兼容）是在标准 SOI 晶圆上，将光子学微腔 / 波导与MEMS 机械敏感结构单片集成，通过光信号检测加速度的超高精度传感器。通过检测加速度引起的光程 / 波长 / 相位变化来测量加速度的传感器。

材料：SOI 、SNOI、LNOI等

工艺能力

1、EBL加工精度50nm，线宽误差±10nm

2、释放工艺成熟，工艺手段多样

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